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自動橢圓偏振測厚儀是一種基于橢圓偏振法原理用于測量薄膜厚度的儀器

更新日期：2025-03-13 點(diǎn)擊次數(shù)：87

　　‌自動橢圓偏振測厚儀(Ellipsometer)是一種用于測量薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)以及材料微結(jié)構(gòu)的儀器‌。它通過利用材料的光學(xué)特性，能夠準(zhǔn)確地測定這些參數(shù)，且由于測量過程不需要與樣品直接接觸，不會對材料表面造成損壞，也不需要真空環(huán)境，因此具有簡便、快捷且易于實(shí)現(xiàn)的特點(diǎn)‌。

　　當(dāng)一束具有已知偏振狀態(tài)的激光照射到薄膜表面時(shí)，光束在薄膜界面發(fā)生折射和反射等作用，導(dǎo)致出射光的偏振狀態(tài)發(fā)生變化，由線性偏振態(tài)變?yōu)闄E圓偏振態(tài)。由于偏振狀態(tài)的變化與薄膜的厚度、材料折射率等相關(guān)，因此通過測量出射光偏振態(tài)的變化，可以通過反演計(jì)算獲得薄膜的厚度和光學(xué)常數(shù)‌。

　　使用自動橢圓偏振測厚儀時(shí)，通常需要將儀器安放在穩(wěn)定的工作臺上，并進(jìn)行光路調(diào)整和儀器校正。然后，將待測樣品放置在樣品臺上，調(diào)整樣品的位置和角度以確保反射光能夠準(zhǔn)確地射入探測器。接下來，啟動儀器進(jìn)行測量，并等待數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)輸出測量結(jié)果。

　　技術(shù)特點(diǎn)：

　　非接觸無損檢測：儀器通過測量光在介質(zhì)表面反射前后的偏振態(tài)變化來獲取信息，無需與樣品直接接觸，因此不會對樣品造成損傷。

　　高精度測量：儀器采用高精度的光學(xué)系統(tǒng)和數(shù)據(jù)處理算法，能夠?qū)崿F(xiàn)薄膜厚度的準(zhǔn)確測量。

　　測量范圍廣：適用于不同厚度和光學(xué)特性的薄膜材料測量。

　　易于操作：儀器具有友好的用戶界面和操作流程，使得用戶能夠輕松地進(jìn)行測量和分析。